Table of Contents
Advertisement
Installing the SWM on a Wafer Prober . . . . . . . . . . . . . . . .
Automatic Wafer Probers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Manual and Small Automatic Wafer Probers . . . . . . . . . . . . .
Connecting Test Fixtures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the System Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Stabilizing the System Cabinet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing Power Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
When an Emergency O Unit is Furnished . . . . . . . . . . . . . . .
When an Emergency O Unit is NOT Furnished . . . . . . . . . . . .
Installing Power Cables for Each Instrument . . . . . . . . . . . . . .
Changing the Line Voltage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fuse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installation of HP 4142B DC Subsystem (DCS) . . . . . . . . . . . . . .
Installing the Customer's HP 4142B . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the HP 4142B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HP 4142B DCS Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the Customer's HP 4280A . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the HP 4280A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HP 4280A CMU Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the Customer's HP 4284A . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the HP 4284A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HP 4284A CMU84 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the Customer's HP 8110A . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installation Preparation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Installing the HP 8110A . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HP-IB Cables and Addresses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
HP-IB Address and Connection of the Wafer Prober . . . . . . . . . . .
Installing Signal Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
When Your System is HP 4062UX . . . . . . . . . . . . . . . . . .
When Your System is HP 4062F . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Removing System Instruments . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Testing Each Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Testing Power Distribution Unit (PDU) (HP 4062UX Only) . . . . . . .
Testing Each System Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Contents-2
3-9
3-10
3-4
3-10
3-11
4-1
4-1
4-2
4-2
4-2
4-2
4-3
4-5
4-7
4-8
4-8
4-9
4-9
4-9
4-10
4-11
4-12
4-12
4-12
4-13
4-15
4-16
4-16
4-16
4-18
4-18
4-19
4-19
4-20
4-21
4-26
4-26
4-30
4-31
4-31
4-36
4-43
4-44
4-44
4-45
4-46
4-46
Advertisement
Table of Contents
